表面潔凈度測試儀 參數(shù)說明

簡要描述：表面潔凈度測試儀 參數(shù)說明 表面潔凈度測試儀采接觸式，量測物體表面的粒子數(shù)量的設(shè)備。半導(dǎo)體，面板廠，設(shè)備商與所有清潔部件廠商，驗證部件表面是否干凈的檢驗標(biāo)準(zhǔn)工具，人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子，這些粒子會快速沉降，逃避常規(guī)的空氣檢測從而聚集在關(guān)鍵表面或產(chǎn)品上，從而減少產(chǎn)品的良率及降低產(chǎn)品的穩(wěn)定性。

所屬分類：測試儀

更新時間：2025-11-11

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表面潔凈度測試儀  參數(shù)說明表面潔凈度測試儀  參數(shù)說明

一、 儀器介紹

概述：

表面潔凈度測試儀采接觸式，量測物體表面的粒子數(shù)量的設(shè)備。半導(dǎo)體，面板廠，設(shè)備商與所有清潔部件廠商，驗證部件表面是否干凈的檢驗標(biāo)準(zhǔn)工具，人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子，這些粒子會快速沉降，逃避常規(guī)的空氣檢測從而聚集在關(guān)鍵表面或產(chǎn)品上，從而減少產(chǎn)品的良率及降低產(chǎn)品的穩(wěn)定性。

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：

ISO14644-9：2022《潔凈室和相關(guān)的受控環(huán)境第9部分：顆粒濃度表面清潔度的評估》

二、 儀器參數(shù)

技術(shù)參數(shù)：

控制系統(tǒng)：PLC

操作界面：7寸觸摸屏

流量：28.3L/min+5%內(nèi)置流量傳感器，流量自動閉環(huán)控制

光源：進(jìn)口激光二極管

測試粒徑：0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可根據(jù)客戶需求定制，最多八個通道）

最大飽和濃度：2000000/ft3（5%）

自凈時間：≤10min

測量次數(shù)：0-99次周期：0-99999秒測量間：0-9999秒時時間：0-9999秒

潔凈度等級：1~9級

采樣頭規(guī)格：φ36.5

數(shù)據(jù)單位：m3、ft3

SCP等級：1級-8級

表面類型：圓形、方形

表面探頭：φ12.7mm、φ20mm、φ30mm、φ50mm、φ70mm

數(shù)據(jù)單位：m2、ft2、in2、cm2、mm2

根據(jù)探頭的形狀（如：圓形輸入直徑、方形輸入長寬尺寸），自動計算出表面積。

打印功能：熱敏打印機(jī)

數(shù)據(jù)儲存：可儲存100000組數(shù)據(jù)

重量：15kg

外形尺寸：300*400*450mm

電源：AC220V50Hz150W（可選帶鋰電池組）

基本配置

主機(jī)一臺

說明書1份

合格證1份

簽收單1份

電源線1份

扳手1套

保修卡一個

銘牌一個